SIC單晶真空長晶爐

PRODUCT

產品說明

  • 可長單晶SIC尺寸
    4”/ 6”/ 8”
  • 有高週波COIL直接加熱式及水冷石英管加熱式,共2種型式
  • 單COIL加熱時,升降控溫自動揚程及曲線
  • 雙COIL上下獨立加熱及升降COIL控溫
  • 全自動流程設定控制,曲線製程,升降曲線控制,自動氣氛,曲線自動控制流量設定,壓力含PID曲線設定
ITEM 坩堝容量 感應電源 標準入料 TIME
SICS-004 2.5KG 50KW 2 4”
SICS-006 4KG 100KW 4 6”
SICS-008 6KG 150KW 5 8”